根據(jù)壓力感應(yīng)膜的不同，壓力變送器可以分為電容型硅，擴散型硅，單晶硅和陶瓷型。下滿主要跟大家淺析一下關(guān)于擴散硅壓力變送器和電容式壓力變送器的區(qū)別問題，供大家參考，希望對大家的工作和學習有所幫助。
1.電容式壓力變送器
原理：電容式壓力變送器具有可變的電容式傳感元件。傳感器是完全封閉的組件。過程壓力和壓差通過隔離膜片傳遞到傳感膜片，并添加硅油，導(dǎo)致位移。電氣組件將感測膜片和兩個電容器板之間的電容差轉(zhuǎn)換為4-20mA的電流信號。
簡而言之，壓力會改變電容。
它的優(yōu)點是：可以達到很低的壓力；過載電阻；高精準度。缺點是：高壓測量缺乏優(yōu)點；傳感器包裝過程要求很高。
以Fulbright Baxter壓力變送器為例。
2.擴散硅壓力變送器
擴散硅壓力變送器的原理：測量介質(zhì)的壓力直接作用在傳感器的擴散硅膜片上，導(dǎo)致與介質(zhì)壓力成比例的小位移。正常情況下，膜片的最大位移不大于0.025mm。電子電路檢測到位移并將其轉(zhuǎn)換為4-20mA信號。
簡而言之，壓力會引起電阻變化。
在過壓的情況下，隔膜直接連接到固體擴散硅上。由于隔膜和基板之間的間隙僅為0.1mm，因此在超壓期間隔膜的最大位移僅為0.1mm。因此，該結(jié)構(gòu)確保了隔膜不會過度變形。該傳感器具有良好的穩(wěn)定性和高精度。
該傳感器的優(yōu)點是：高穩(wěn)定性，優(yōu)于0.1％FS /年；通過消除測量元件中的液體，傳感器可以實現(xiàn)高精度。而且很便宜。缺點：低于0°C或高于85°C的溫度難以正常使用；它不能承受動壓力。膜片容易損壞；不適合超過20MPa的壓力。
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